1、固定設備進入的程序
為了避免發生大型固定設備進入“動態”潔凈室，也就是說潔凈室已投付正式運行，還要進入大型固定設備，應該在管理計劃中盡可能排出。因為在這種特殊情況下，潔凈室按ISO 14644-2“證明持續符合ISO 14644-1的測試和監測技術條件”的規定要重新認證潔凈室，其工作是相當繁雜的。
正常情況下，通常是在空態或靜態條件下降固定設備送入。把設備送入潔凈室時，整個過程都不應增加對環境的污染。解決大型部件運進運出的辦法就是設計一個大型物流氣閘室。如果條件允許，設計潔凈室時，宜考慮采納這個方案。設備進出潔凈室的另一設計方案是在潔凈室的墻上開一組雙門，可足以容納機器、大型設備件的通行。由于這樣的通道有可能直接與外走廊相通，因此必須鎖住，只有設備需要進入時才打開。有些類型的墻板模塊可以取下來再安裝好不對墻造成損壞，如可這樣操作就不需要另開門洞。
2、可在潔凈室內墻一側建一個臨時氣閘室
所有準備進入的設備都要檢查在運輸中有無損壞，有損壞的設備應在潔凈室外隔離保護起來，待供貨商修復或另行處理。
ISO 14644-5“運行篇”推薦的拆包過程如下：
（1）對設備外護層用吸塵設備進行清潔，從頂部開始，向兩側擴展。
（2）用適當的清潔劑擦拭外護層。
（3）從設備外護層的頂部撕開一個“工”型或“X”形切口，從頂部向下剝離外護層。
（4）如有多層包裝，每層包裝膜都要按上述（2）（3）程序重復進行。
（5）所有運送設備人員進入氣閘室前都要穿上潔凈服。
（6）所有移動用、搬運用的設備都應在氣閘室內進行清潔。
（7）在打開氣閘室靠潔凈室一側的門運入設備前，應先清潔氣閘室。
3、通過傳遞窗和滅菌器傳遞材料
除了物流氣閘室外，還有其它方法可將材料傳遞入潔凈室內供使用。將小型的物件傳進傳出潔凈室通用的辦法就是使用傳遞窗。傳遞窗的尺寸要根據所傳遞材料的大小確定。
傳遞窗的工作方式與物流氣閘室相似，將物品傳遞入潔凈室，大致通過以下的步驟：
（1）在潔凈室外面的人員打開傳遞窗的小門，對傳遞窗進行清潔。
（2）打開物品的一層包裝，將物品放入傳遞窗內。
（3）關閉傳遞窗的小門。
（4）在傳遞窗另一邊的人員打開傳遞窗的內門，取出物品。對取出的物品進行清潔。在污染控制要求嚴格的場合，則再打開物品的另一層包裝。
傳遞窗一般都帶有電子或機械聯鎖裝置，防止兩個小門被同時打開，這樣可防止外部空氣流入潔凈室。有時將傳遞窗建在與地面水平的位置，便于較重的物品通過。
而將材料移出移入生物潔凈室，則要使用高壓釜、熱氣爐這類的滅菌裝置。這類滅菌裝置也裝備有雙門，以提高效率。傳遞材料時，先將外側的門打開，將未經滅菌的材料放入滅菌器內。門關閉后，滅菌器開始其滅菌程序。滅菌程序完成后，打開滅菌器位于潔凈室一側的門，將經過滅菌的材料取出。也可以使用滅菌隧道，對自外部進入潔凈室內的容器進行滅菌。
4、固定設備運入的機械
如有可能，大型設備應該臨時拆卸為能安全進入潔凈室的組件，使潔凈室設備運入過程的風險降低。因為這些大型裝設搬運中，與潔凈室圍護結構表面接觸時，可能發生磨損、撞傷，并產生污染。
所有用于大設備、組件的提升、牽引或定位的設備，在進入潔凈室前必須*清潔。這類設備多數不是專為潔凈室使用而設計、制造的，應*檢驗有無膜屑，表面剝落狀況或不宜進入潔凈室的材料。
5、固定設備的安裝程序
有效的措施是在設備安裝階段用臨時的隔墻或隔斷把設備所在位置與潔凈室隔離開。為不妨礙設備安裝，在設備周圍應留出足夠的空間，但同時也要注意隔離區空間適度，不宜過大。
ISO 14644-5“運行篇”建議的操作程序及其它注意事項如下：
（1）設備應盡可能通過服務通道或其它非關鍵區進入隔離區，如不可能則應采取措施盡量減少污染。例如，只有通過相鄰的潔凈室才能進入隔離區時，應該采用粘墊除掉鞋底附著的污染物，進入隔離區后，要求使用一次性靴子或鞋套，以避免污染潔凈服。離開隔離區時要脫下這些一次性物品。
（2）該隔離區的氣壓相對于周邊應維持中性或負壓。*封閉的隔離區則應該截斷區內的潔凈空調送風，以減少安裝時產生的污染物向外擴散。
（3）應該事先制定計劃，明確對隔離區和周圍區域監控的方法和頻率，確保能及時發現污染物由隔離區向外滲透的情況。
（4）設備就位后，在架設各種動力設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和排水管道時，應采取措施控制操作過程中產生的煙氣和殘渣，避免污染周圍的潔凈室，也有助于減輕拆除隔斷時的清潔工作量。
（5）在設備安裝工作完成后，應采用認可的潔凈程序。清除隔離區內的污染，墻、地面、設備等所有表面都要用真空吸塵器清掃、清理和擦拭。要特別注意設備護板后面和下面區域的清潔。
（6）在隔離區清潔工作完成后，可以進行設備的試運行和設備性能的初步測試，但后驗收的測試，則需要*具備潔凈室的條件方可。
（7）選定對潔凈室內的正常工作干擾少的時間拆除隔斷墻。在小心拆除隔斷墻的同時，隔離區內原被臨時阻斷的送風口，開始恢復送入潔凈空氣。此過程中，宜于隨時監測周邊離子濃度的變化。
（8）清理隔斷后，設備所處位置恢復潔凈室正常狀態，開始對設備內部和關鍵工序部位進行進一步清潔和作投入使用的準備。
（9）對設備所有內腔和所有與產品接觸表面，也包括產品裝卸的表面，都要進行擦拭，使之達到要求的潔凈度水平。設備清潔順序應是從頂到底。如果清潔過程中有顆粒物散出，則較大的粒子在重力作用下將落到設備底部或地面。
（10）再次清潔設備外部，其順序也是從頂至底。
（11）必要時，應檢查產品或工藝要求非常關鍵區域的表面粒子情況。
6、固定設備的維護與維修
任何設備都需要定期維護或臨時維修。ISO 14644-5“運行篇”對此項工作的指導原則是：（1）如有可能，凡要進行維修的設備應先移出潔凈室再維修，以減少污染產生的可能性。
（2）如必要應將需要維護的固定設備與周圍的潔凈室隔離開來，再進行主要的維護或維修。或者采取把所有正在制造的產品移往適當位置的措施。
（3）與正在維護、維修設備相鄰的潔凈室區域，應適當加強監控，以保證有效的控制污染。
（4）在隔離區內進行維修、維護的工作人員，不應與潔凈室的生產或操作人員發生接觸。
（5）進入潔凈室的維護或維修人員，應遵循該潔凈區的規范，包括穿著工作服及維修完成后對該區和設備清潔應達到要求。
（6）如果技術人員需要躺下或爬到設備下面維修，應該先確定工作條件是否適宜，應在進行化學品或生物危險品有效中和或適當處理后，再開始維修工作。
（7）應采取措施保證維修人員的潔凈度不接觸到設備的潤滑油或工藝用化學品等污染物，還應避免潔凈服被設備、工作的銳邊撕裂。
（8）進行維護或維修工作用的全部工具、工具箱、小車等，在進入潔凈室前都應*清潔，不允許帶入任何銹蝕的工具。如果進入生物潔凈室，則還可能要求滅菌或消毒。
（9）維修技術人員應避免把工具、各種零配件、損壞的零部件或清潔用的工具材料等任何物品，放置在產品或工藝材料用的工作表面附近。
（10）維修工作過程中應該隨時進行清潔工作，定期更換手套，避免因手套破損，維修人員的皮膚接觸設備潔凈表面的情況發生。
（11）如果要求使用耐酸、耐熱或耐切割型的非潔凈室手套，那么這些手套應符合潔凈室要求或另套一副潔凈室手套。
（12）如需進行鉆、鋸作業時，應使用罩蓋，把工具和進行鉆、鋸的區域遮蔽起來，同時使用潔凈室真空除塵器，及時吸走揚塵。
（13）在地面、墻面、設備側板或其它表面鉆孔后，留下的縫隙、孔洞，要采取密封措施。如用填料、粘合劑和特殊制造的板堵塞，以防止污染物經孔洞、縫隙擴散到潔凈室內。